科技成果基本信息
| 委托机构 | 西安电子科技大学 |
| 技术经理人 | 陕西省技术转移中心 |
| 科技成果持有方 | 西安电子科技大学 |
| 成果名称 | T形漏场板异质结功率器件及其制作方法 |
| 成果简介 | 本发明公开了一种T形漏场板异质结功率器件及其制作方法,主要解决现有场板技术在实现高击穿电压时工艺复杂的问题 |
| 成果所属领域 | 微电子 |
| 技术方案 | 本发明公开了一种T形漏场板异质结功率器件及其制作方法,主要解决现有场板技术在实现高击穿电压时工艺复杂的问题。其包括:衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、源极(4)、肖特基漏极(5)、台面(6)、栅极(7)、钝化层(8)和保护层(11)。钝化层(8)内刻有漏槽(9),钝化层(8)与保护层(11)之间淀积有T形漏场板(10),T形漏场板(10)与肖特基漏极(5)电气连接,且下端完全填充在漏槽(9)内。本发明具有制作工艺简单、反向特性好以及成品率高的优点,可作为开关器件。 |
| 可量化指标 | |
| 对比技术 | |
| 成果创新点 | 本发明具有制作工艺简单、反向特性好以及成品率高的优点,可作为开关器件。 |
| 应用前景 | |
| 成果阶段 | 无 |
| 经济效益 | |
| 商业模式 | 技术转让、合作开发、委托团队、专家长期技术服务 |
| 技术转移方式 | |
| 预期交易额 | |
| 备注 |